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微壓壓力校驗(yàn)儀的壓力生成方式,壓力測量原理

 更新時(shí)間:2025-06-25 點(diǎn)擊量:427
(1) 壓力生成方式
微壓壓力校驗(yàn)儀通常采用以下方法產(chǎn)生精確的微小壓力:
電動(dòng)氣壓泵:通過精密步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)活塞或波紋管,壓縮/釋放氣體(如空氣或氮?dú)猓煽煽匚骸?/div>
微流量控制閥:調(diào)節(jié)氣體流量,結(jié)合高精度壓力傳感器閉環(huán)反饋,穩(wěn)定輸出目標(biāo)壓力。
手動(dòng)壓力源(如手操泵):適用于低成本場景,依賴人工操作產(chǎn)生壓力(精度較低)。
 
(2) 壓力測量原理
高精度壓力傳感器:采用硅諧振式、電容式或壓阻式傳感器,測量生成的微壓信號(hào)。
硅諧振傳感器:通過諧振頻率變化檢測壓力,精度可達(dá)±0.01% FS。
電容式傳感器:利用極板間距變化測量壓力,抗干擾性強(qiáng)。
溫度補(bǔ)償:內(nèi)置溫度傳感器,修正環(huán)境溫度對(duì)壓力測量的影響。
 
(3) 信號(hào)處理與顯示
ADC(模數(shù)轉(zhuǎn)換):將傳感器輸出的模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字值。
非線性修正:通過算法補(bǔ)償傳感器的非線性誤差(如多項(xiàng)式擬合)。
人機(jī)交互:LCD顯示實(shí)時(shí)壓力值,支持單位切換(Pa/mbar/inH?O等)。
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